缺陷检测

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基于图神经网络的版图缺陷检测

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样例

Metal Layer 1 Metal Layer 2 Metal Layer 3 Via 1 Via 2

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版图图像信息

规格：1200*1200

来源：ICCAD2012 Metal Layer数据集

图表征版图

缺陷检测结果：无缺陷

先验光刻下版图缺陷定位

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样例

Large Layout 1 Large Layout 2 Large Layout 3

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版图图像信息

来源：ICCAD2019 Metal Layer数据集

光刻仿真结果

缺陷定位结果